洁净室不像我们日常生活中的房间，它不允许你随便进出，它是将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。

　　对于洁净室洁净程度的维持和控制，除了硬件设备配合投资外，也需要良好的软件和管理制度来配合，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人工作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因，人是主要因素。

　一、室内的空气污染源及其传播途径

　　1、内部污染

　   ①、室内工作人员　

人员产尘是洁净室内空气污染源的最主要来源，占80%~90%。人动作时的发尘量相当复杂，人静止时的产尘量和激烈活动时的产尘量大约相差10倍。一个人在室内活动时不可能都是激烈活动，如果取这些动作的平均，可以认为一个人在室内活动时的产尘量为其静止时的5倍，即为：5×105粒/(min•人)。

　　根据工艺性质、人的动作的多少和强弱的不同，这个倍数是不同的，可以分为较低和较高两类，分别为3倍和7倍于静止产尘量的数值，相应为3×105粒/(min•人)和7×105粒/(min•人)。

　　当然，人体产尘量还与服装有很大的关系，和服装的洗晾、吹淋等也有很大关系。根据实际使用情况和实验测定，尼龙绸洁净服产尘量最少，棉的洁净工作服的产尘量比尼龙绸的大。如果在尼龙绸衣服内加穿一件棉的工作服，则可使尼龙绸工作服的产尘量进一步降低。此外，洁净工作服不宜揉洗，洗后应在洁净环境中晾干。

　　②、设备及工艺产尘

　　设备的产尘以转动设备尤为突出，电动机、齿轮转动部件、伺服机械部件、液压和气动启动器开关或人工操作的设备，都会由于移动着的表面之间的摩擦而产生微粒。日本及西方工业国家对洁净室常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的实验研究。对洁净室的机械、电器污染源给出了一些尘粒散发量的可参考数值，为洁净室通风设计提供了计算依据。

      2、外部污染

     ①、大气中的尘粒和微生物：大气中悬浮的微粒和微生物是洁净室外部污染的主要来源。这些微粒包括尘埃、花粉、细菌、病毒等，它们可能通过洁净室的通风系统或门窗缝隙进入室内。      ②、地理位置和气候条件：工业城市、城市郊外和非工业区或农村的大气尘计数浓度不同，这直接影响到洁净室外部污染物的浓度。一般来说，非工业区或农村的污染程度远低于城市中心。

　  ③、与洁净室相邻的污染区域

　　与洁净室周边相邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区域，由于人员、材料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的，特别是洁净室在外门的附近区域。因此，关键工艺区域宜远离外门。

　3、其他污染

　   ①、未经过滤的送风

　　在正常情况下，新建、改建洁净室或是末级过滤器更换后，按规范要求进行了严格的验收检测，则高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏，都应被查出并予以处理。此时，送风系统不存在未经过滤而进入洁净室的空气。

　　值得防范和注意的是，在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器纸芯，或是高效过滤器支撑框架因振动、或是密封胶垫老化、变质而致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙，从而泄漏未经过滤的空气，污染洁净室，这也是日常监测工作关注的重点。

　　②、原材料、包装等

　　对进入洁净室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法，以及进入洁净室的程序等，都应该按照洁净室运行管理的相关规范执行。但即使严格按照相关规范和程序操作，仍然难以完全杜绝粘附在原材料、容器、包装，特别是一些难以彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入洁净室。它们构成了生产过程中的又一个重要污染源，而在这一点上往往容易被忽略。出现问题时，通常把注意力放在寻找空调净化系统的缺陷上。

　　二、针对污染源的控制方法

　　1、控制工艺设备及工艺的产尘

　　洁净室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡，并辅以排风，形成局部范围相对于洁净室的负压，以限制污染物向洁净室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。

　　2、不同级别相邻洁净室间的压差

　　防止从相邻的洁净度较低区域向洁净室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为5Pa-10Pa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外。

　　这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别洁净室，低级别洁净室向高级别洁净室传播空气中的悬浮污染物。正压差并非越大越好，许多理论研究和实践都证明，人员、物料通过门时，即便门两侧关门压差高达50Pa~60Pa，仍难绝对避免随人员、物料向内移动时的携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差时，门敞开后，即便无人走动，在开口断面部分面积上也存在逆向气流，带入空气的污染物。

　　此外，过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严，门缝气流造成哨声噪声，以及因气流外溢过量而补风量增加，浪费能源和加重各级过滤器的负担。

　　3、洁净室送风的过滤

　　洁净室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或超高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、超高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。

　　但末级过滤器如有破损或过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。高效过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。

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